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연구명

Metal Work Function Dependence of Tunneling-Dominated Contacts in Degenerate ZnSnN₂ Thin Films

책임교수

박민수

저자명

김선홍, 송진혁, 박민규, 박건웅, 김진우, 박광욱, 박민수

연구내용

본 연구는 고농도 ZnSnN₂ 박막에서 금속 전극의 일함수에 따른 접촉 특성과 열적 안정성을 분석한 연구이다.

일반적인 반도체 접촉과 달리 ZnSnN₂에서는 터널링에 의한 전하 수송이 지배적으로 나타나 금속의 일함수와 관계없이

우수한 오믹 접촉 특성이 나타남을 확인하였다. 또한 HCl 표면처리를 통해 접촉 특성의 균일성을 확보하고, Ti·Pd·Bi 전극의 온도에 따른 특성을 비교·분석하였다.

이를 통해 ZnSnN₂ 기반 질화물 반도체 소자의 안정적인 전극 형성을 위한 접촉 설계 및 열처리 조건을 제시하였다.